光不断地冲击，会让晶圆发热。
在晶圆上面再加一个晶体，比增加一个透镜的难度要大得多。
最后选定的，是镓镁晶体。
这种晶体，在特殊的技术处理之后，能够适应较高的温度，高温形变上能够有效改善。
当然，这种也只是改善，并不能完全解决。
“江总，我们的专家们厉害，把这个系统破解了，增加了一道非接触式光刻系统。”孔连华解释道，“就是咱们这么一搞，出问题后要阿斯麦的工程师来修就不可能的事了。”
不仅不能让人来修，还不能让人知道。
江奕辰并没有直接回复，而是看着一片测试晶圆的情况。
“检测结果，28nm工艺。”
就这么一个测试，就达到了28nm工艺的极限。
显而易见，镓镁晶体给193nm的光刻机带来了巨大的质变。
“单片晶圆光刻后，晶体的温度达到了80度。”
“再高一些，这个误差就无法软件纠正了。”
孔连华郁闷地说道。
江奕辰摆手，“增设一个降温系统即可，准备一个类似双工件台的设备，在每次光刻一个晶圆后，镓镁晶体同步撤出散热，换新的晶体上。”
张成在旁边看着抚掌赞叹，“对啊，既然改都改了，咱们改得更合适一些就行了。”
孔连华点头应是，“这倒是，看起来我们可以给这个技术取个名字了。”
“就叫改良型非接触式193nm光刻机。”
江奕辰直接定下了名字。
他可不想随便把这个技术透露出去。
哪怕是使用的是什么样的晶体。
至于制备技术，那就更是机密中的机密。
江奕辰与这些人全部都签订了最严格的保密协议。
以确保技术不会外泄。
不过想想也比较困难，因为关键的技术江奕辰、孔连华亲自掌握的。
只要两人不外透，就不存在外泄的问题。
孔连华又建议道，“不过，193nm的光刻机，咱们想搞掉也不容易。”
“多研究研究，买不到，我们自己造，造出适合我们使用的，造出更适应未来芯片的光刻机，”江奕辰给众人打气。
光刻机自然是顶尖的技术，但一定会有取下的那么一天。
实验通过，一些小问题，在江奕辰的提醒下，孔连华和张成立马准备修改。