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第475章 这只是一个暂时的解决方案(1 / 2)

辰芯微。

钟国栋也专门到了生产车间,穿着防尘服,进了车间看了半天。

虽然他不太懂硬件技术,但也知道这一次的问题有些大。

出了车间,就召开了会议研判。

黄小婷更是愁眉苦脸,像是霜打的茄子一样。

因为二手光刻机,是她牵头去买的,如今接二连三的出问题,还难以解决,成为了束缚辰芯微发展的绳子。

钟国栋是找阿斯麦买的197nm干式光刻机,因为是新设备,目前来说,也没有出啥问题。

“大伙说说,有什么解决办法?”

副总工孔连华先开口道,“目前出问题的,是二手光刻机的光源稳定性问题。这台设备运行时限有些长了,在实际运行中,其光源输出强度波动较大,导致曝光不均匀,严重影响光刻图案的精度和一致性,从而导致良品率大幅下降。”

“我们已经尝试对光源系统进行校准和调整,但效果并不理想。由于没有后续的维修服务,即便是找到问题所在,更换关键部件也可能面临供应链的问题。”

钟国栋轻轻敲击桌面,“这些零部件,就不能找到替代方案吗?”

许许多多进口机器,在华国出了问题,难不成都找进口零件?

有些牛人,甚至自己能手搓一个替代零件,凑合着用。

像是进口农机、进口汽车这一块,非常常见。

孔连华摇了摇头,解释道:“光刻机的零部件精度要求极高,特别是光源系统,一点点微小的误差都可能导致整个系统性能的大幅下降。虽然理论上我们可以尝试寻找替代零件或者进行手工修复,但实际操作起来风险极大,很可能会对设备造成不可逆的损害,甚至影响到整个生产线的运行。”

黄小婷在一旁补充道:“而且,这台二手光刻机我们改良了非接触式曝光系统之后,对光源稳定性的影响更大了。”

“我们不要一味强调问题和困难,解决办法呢,都有没有想法?”钟国栋头疼地道。

张成举手,“我有一个想法。”

“说。”

“目前出问题的部件,是光源激光器,是不是可以拿着这个找华国做光源的公司,看下他们能不能做出合格的替代品呢?”

“哪怕性能和寿命比不上,能用就行。”

钟国栋点点头,“这是一个办法,小婷,你知道华国哪些公司搞光源吗?”

“大竹激光,另外还有光华科技,他们在激光光源领域都有一定的研究和技术积累。”黄小婷补充道,“我们可以先联系这两家公司,看看他们是否有能力为我们提供替代的光源激光器,或者能否帮助我们进行现有激光器的维修和性能优化。”

光靠自己的这些研究人员,还是太不够精通。

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