“就叫华辰EUV光刻机。”
江奕辰摆摆手，对取名这个想法，并没有特别大的兴趣。
只要能用，这机器就是好的。
要是不能用，叫啥高大上的名字，也是白搭。
EUV，那是极紫外线光刻机（Extreme Ultra-violet Lithography Machine）的简称。
这也算是在业界约定成俗，直接叫这个，大部分人都知道这是什么类的光刻机。
“先测试曝光。”
江奕辰扬手吩咐。
当然不需要他出手，这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。
因为是测试样机，并没有啥包装设计，没有必要的装饰板一个没有，裸机看起来，有些不好看。
但总体的设计语言很不错，看起来有种工业的美感。
这，就是工业上最大的一颗明珠了吧。
机器启动，黄小婷选择了测试程序。
双工件台也开始了运转，一片晶圆被送了上去，而后进入了光刻环节。
强大的光源系统，让激光碰上了气体，激发了极紫外线光。
复杂的透镜系统，过滤或是反射掉了那些不需要的光，留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。
透过掩膜版，照射在了晶圆上面的光刻胶上。
随着光线的照射，光刻胶发生了化学反应，形成微小的电路图案。
这个过程需要极高的精度和稳定性，任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。
江奕辰紧盯着监控屏幕，观察着每一个细节。
EUV光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量，而芯片则是现代电子设备的核心。
“看起来不错。”
他微微点头，对工程师们说道，“等会看看测量结果。”
工程师们忍着心头的激动，依然稳步开展着光刻测试。
随着时间推移，测试逐渐进入了尾声。
晶圆被送出光刻机，进入了下一个环节。
工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。
在无尘车间，昏黄的灯光下，一切都顺利进行着。
紧接着就是沉积晶体管，随后便是检测。
孔连华非常熟悉地收集和分析数据，对光刻机的性能进行评估。
“结果如何？”江奕辰问道。
孔连华脸上洋溢着难以抑制的喜悦，“江总，结果非常出色！测试结果显示，光刻精度95%以上，线宽控制误差小于3纳米，这远远超过了行业平均水平的85%精度和5纳米误差！”
这么优秀？！