“韩总，电源安装好了。”负责安装电源和变压器的研究员刘国荣说道。
“很好，启动电源。”韩琛说道。
说完韩琛和一行人走到一旁的控制台前，随着电源启动控制台上出现画面，很快控制台就进入操作界面，光刻机的操作界面也是十分简单，只要稍加培训就知道该如何操作了。
韩琛操作鼠标按下操作界面上的按钮让光刻机进入真空装填。
随着机器运转光刻机舱内的空气被真空泵抽走，另一侧的管道将氮气注入到真空舱当中。
“冯贤亮，将晶圆放入舱体。”韩琛说道。
“好的，韩总。”站在韩琛身后的冯贤亮说道。
随后冯贤亮推着一辆板车往光刻机方向走去，没一会他来到光刻机的右侧进料口，进料口在韩琛操作下弹了出来，冯贤亮将晶圆片放入进料口当中。
“韩总，晶圆已经送进舱体了。”冯贤亮说道。
“好的。”韩琛回道。
随后韩琛将芯片图纸导入到系统当中并按下了光刻机的启动键。
虽然光刻机的舱体是密封真空的，但是舱体里面安装有摄像头，可以通过摄像头观看舱体内的情况，激光头按照预设好的程序将X射线打在晶圆上。
随着机器运转现在的工作人员精神变得紧绷起来，只是他们现在再着急也没有用，因为X射线光刻机处理的速度非常缓慢。
因为这种X射线光刻机处理一片8寸晶圆需要5分钟的时间，也就是说一台X射线光刻机一个小时最多处理12片晶圆。
相对比AMSL、佳能、尼康的DVU光刻机那是一个天差地别，这些厂家所研发的DUV光刻机每小时可以处理100片晶圆，效率是X射线光刻机的9倍多。
别看韩琛研发的X射线光刻机效率慢，它比现有的DUV光刻机强悍多了。
一台X光射线光刻机成本只要58万软妹币，除此以外X光射线光刻机功耗比DUV低，它制作一片晶圆功耗只有DUV的58%，最重要的是它不需要制作掩膜。
效率不够完全看用数量来凑，1台一小时可以生产12片，10台一小时就可以生产120片。
一台DUV光刻机售价可是高达几千万软妹币，10台X光射线光刻机只要580万软妹币。
可以说X光射线光刻机除了效率以外其他方面完胜现有DUV光刻机，只是EUV光刻机都没有办法跟X光射线光刻机相比。
X光射线光刻机最牛的地方就是它的升级迭代十分简单，后续只需要升级现有的激光头就可以了，升级一台设备的成本不到10万软妹币。
虽然说X光射线光刻机只需要升级激光头就可以，但是X光射线光刻机激光头制作十分复杂，但是激光头的研发成本可不比DUV光刻机研发成本低。