光刻机的光束再锋利,也刻不动晶体硅,要想晶体硅上加工凹槽,需要使用高纯度的具有极强腐蚀性的介质氢氟酸。
重生之前的前几年,棒子跟鬼子掐架,被掐断了料供应,马上就老实了,涉及的就是纯度高达十个九的氢氟酸。
为了保证氢氟酸能腐蚀到该腐蚀的地方,你还需要有能抗住氢氟酸腐蚀,但又能被光分解的光刻胶。
光刻机光源的尺度取决于光源所使用光束的波长,可波长最先的见光极紫外光源的波长也有十几纳米,要想实现十纳米级别的加工,你还需要高精度的聚光装置、高精度的遮光装置——掩膜版……
一套资料还没整理完,纵然号称自己过目不忘、一目十行,可面对高达十几G的资料,周岩也还是看得头晕眼花,脑袋里全都是各种各样的名称:掩膜版、光刻胶、紫外光源……
所幸,虚拟空间的冷却时间只有一个月。
等周岩囫囵吞枣似的将所有的资料给硬记下来,虚拟空间的冷却时间也到了。
周岩直接利用积分兑换了一百年。
进入空间之后,周岩并没有急着制造光刻机,而是利用“工蜂”那丰富的机械知识,先制造了一批高精度的测量仪器。
接下来就,又制造了一批机床,然后逐步改进,不断提高精度的同事,也开始添加数控装置,以实现自动加工。
虽然虚拟能够在一定程度上按照周岩的命令制造零件,可也仅限于造型相对简单,仅限于周岩的脑袋里能够描绘出来的。比如,周岩说要一个直径一厘米的玻璃球,虚拟空间就能生成,而且还可以保证玻璃球的指令是一厘米,一纳米都不差。
可在微观尺度,而且零件造型十分复杂,周岩脑容量不够用的情况下,虚拟空间就很难自动生成了,只能用机械来实现。
下一步,就是光刻机了。
周岩没打算一步到位,让光刻机的制程达到纳米级别,因此用的是诸多光刻机生产厂家已经淘汰的193纳米技术,不仅制造工艺相对简单,而且资料也比较容易获得。
因为都是囫囵吞下来的资料,所以在制造光刻机的过程中,周岩只能一边制造,一边消化资料。
涉及到高能物理领域的知识,周岩没办法消化了,只能从花积分从系统图书馆兑换图书硬啃,光是光刻机的DUV深紫外光源,周岩就足足啃了五年。