第三个因素是工艺因子,说白了就是芯片制作过程中从工艺制造、工艺流程层面来提升分辨率、用什么样的方法来提升分辨率的问题。简单来说目前世界上已经有了的五种工艺技术:
一,多重曝光,多重曝光是最容易理解的一种技术,简单来说就是一次不行就多曝光几次,通过曝光的次数,曝光的程度,来控制曝光后达到的效果,这就是多重曝光的工艺技术研究。
目前有很多介绍多重曝光的科普资料,所以这块的研究相对来说会顺利一些。
二,侧墙转移,基本思路是在光刻搞不定的情况下,其他方面的就各种技术一起上,把光刻、薄膜沉积和刻蚀等技术整到一起来用!也就是先使用光刻技术刻上一个胚,在这个胚上用薄膜沉积技术和刻蚀来加强精度。
三,移项掩膜,当两束光碰到一起的时候,有些光会得到加强,而有的光会相互削弱,这跟光的波长和光的性质有关。而移项掩膜就是利用技术对这个光的性质和光现象来加以利用,在光透过的模板上加入移项器,让相邻的两个小孔之间透过来的光相位正好相反,使得光斑和光斑之间的间隙就变得清晰。
四,离轴照明,所谓离轴照明就是把光斜着绕过来,为什么斜着绕过来就会提高分辨率呢?其实就是光线的利用率问题。光线发射后通过各种透镜,不是所有光线都被收集到达预定位置的,有部分走着走着就不见了,就如同一个旅游团,有人拍照去了,有人上厕所去了,如果不采取措施,只怕最后一个旅游团就只剩下导游了。所以这项工艺技术就是提高光线通过率的措施。
五,光学邻近效应校正,就是加强光刻精度的一项工艺技术,也就是说前面那些措施叠加,刻出来的效果在一些局部地方可能还是有些发散,通过这项技术让发散多的地方变小,而光刻少的地方加强。
张珊确实对整体光刻技术有比较深的了解,尽管她也不会其中任何一样技术,但是,作为管理者,整体流程肯定得比较了解,技术难关在哪里,突破哪里的技术瓶颈更有价值,哪里需要加强人员能力,哪里需要更多财力支持,这些问题,是管理过程中,作为统筹者,所必须掌握的。
随着张珊一路的讲解,王耀强也弥补了不少光刻机技术方面的知识,这其实对于他来说,有知道和了解的必要性,作为投资人,就算没把钱放在眼里,投资干了些什么总得知道,投资的效果预期总要有对吧?
和张珊把九大部门逐一走过,强哥觉得自己挖人挖得太对了,这张珊就是个宝,组织筹建安德科技时间不长,不要说她自己对芯片制造的了解已经有多深,但是弄出来的各大部门,全都井井有条,确立的科研目标既实在又有前瞻性,财务反应钱还花得少。
真是捡漏了!
作者按:光刻机研究还有三个部门没介绍,个人觉得这不是技术探讨,怕读者们看不下去,就删掉了后面三个部门的介绍了,很多人知道光刻机,也知道光刻机的重要,但是很少会有人去了解光刻机面临的技术难题,小说里也只能很有限度的涉及一下技术方面的问题,如果想对这方面有更深的了解,那就得去找专业些的资料来看了。
所以请大家多多理解,也请读者朋友们多多支持。当然最好的支持是加书架和给五星好评啦!
谢谢大家!