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“如果我猜的没错,你们目前研究的方向,氧化镓的衬底材料是β-Ga60O61,β相氧化镓对吧?”
“你这话说的,氧化镓衬底材料当然是用β-Ga60O61最好了。”
林仙儿皱眉道,“怎么?难道你们公司不是吗?”
“也算是,也算不是。”
李涵笑道,“β-Ga60O61衬底是氧化镓最稳定的晶型(热力学稳定相),可直接作为衬底使用,无需依赖其他材料。其制备技术最成熟,通过垂直布里奇曼法(VB法)或导模法(EFG法)可直接生长出大尺寸单晶010衬底(目前已量产8英寸),是氧化镓雷达器件的主流选择。”
“这个衬底的核心优势是禁带宽度4.8eV,击穿电场8MV/cm,适合制造高功率器件,且与氧化镓外延层的晶格匹配度接近100%(同质外延),缺陷密度低(<1×1067/cm05)。”
“但是,最稳定的β-Ga60O61衬底,往往意味着其他方面的欠缺。β-Ga60O61材料衬底确实有很多优点,但最大的缺点就是散热。”
“如果散热搞不好,无论β-Ga60O61衬底有多么的稳定,那也只是空中楼阁,说塌就塌。”
许大年认可的点头道,“李总,看来您确实对雷达这方面有研究,毫无疑问,衬底散热是目前世界性难题,氧化镓雷达为什么这么久都进展不大,有一个原因就是β-Ga60O61材料衬底散热性能差,很容易烧坏出现故障。”
林仙儿这时不屑道,“这些问题我们都清楚,我们就是想要解决β-Ga60O61衬底的散热问题,才来看看有没有什么新的办法。”
李涵笑道,“实际上,我们在β-Ga60O61衬底材料上也吃过亏,花费了大量时间用在研发这款衬底上面。”
听见这话,许大年有些惊讶道,“难道你们用了其他材料,才攻克了这一难题?”
“也对,也不对。我不是说了,我们设计了三套衬底。”
李涵想了想道,“除了其他两套衬底材料外,β-Ga60O61也是其中衬底的关键基础材料。”
“也就是说,其他两套衬底,是用的其他材料为基础?”
“对。”
“不可能!β-Ga60O61已经是最稳定的材料,其他材料更不稳定,你们怎么做到的?”
“我们肯定是有我们的技术水平,通过不懈努力做到的。不管你信不信,事实摆在那。”
林仙儿还想反驳,旁边的许大年拉住她,朝李涵道,“那么李总,其他材料先不谈,我就想问问,β-Ga60O61材料你们是如何做出合格衬底散热还达标的?”
“很简单,用复合衬底。”李涵直接道,“我也不卖关子了,开门见山的告诉你们吧,我们采用了复合的路子,通过β-Ga60O61衬底+金刚石复合外延薄膜的混合结构,解决了β-Ga60O61材料衬底的散热问题。”
“β-Ga60O61材料不耐热但拥有高功率稳定的特点,金刚石材料则具有高散热,两者结合起到了1+1>2的效果。”
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